用途:TSV、Saw Filter、RDL、キャリアテープ等
材料:NCF、Sheet Mold、PR、等
対応Wafer/基板サイズ:8、12インチ、基板パネル800mm径等
優位性:
・多品種対応 (条件だし、サポート可能)→各社材料メーカー製品の対応可
・ロールToロール、全自動機対応(実績有)
・真空ダイアフラム方式→狭Gap、狭ピッチ、凹凸など対応可
・積層ムラ解消(加熱、圧力均一性)
・埋め込み性良好 →密着性UP(=高信頼性)
・TTV 2μm以内、コーナー部分もボイドフリー実現 (温度均一性、圧力均一性良好)