用途:TSV、Saw Filter、RDL、キャリアテープ等 材料:NCF、Sheet Mold、PR、等 対応Wafer/基板サイズ:8、12インチ、基板パネル800mm径等 優位性: ・多品種対応 (条件だし、サポート可能)→各社材料メーカー製品の対応可 ・ロールToロール、全自動機対応(実績有) ・真空ダイアフラム方式→狭Gap、狭ピッチ、凹凸など対応可 ・積層ムラ解消(加熱、圧力均一性) ・埋め込み性良好 →密着性UP(=高信頼性) ・TTV 2μm以内、コーナー部分もボイドフリー実現 (温度均一性、圧力均一性良好)